中圖儀器SuperViewW1全自動3D輪廓儀粗糙度表面形貌儀是一款用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級測量的檢測儀器,。它具有測量精度高、操作便捷,、功能齊全,、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn)，測量單個精細(xì)器件的過程用時短,，確保了高款率檢測,。其特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細(xì)器件表面的測量,。

產(chǎn)品功能

(1)SuperViewW1全自動3D輪廓儀粗糙度表面形貌儀設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高,、角度等輪廓尺寸測量功能；

(2)測量中提供自動對焦、自動找條紋,、自動調(diào)亮度等自動化輔助功能,；

(3)測量中提供自動拼接測量、定位自動多區(qū)域測量功能,；

(4)分析中提供校平,、圖像修描、去噪和濾波,、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能,；

(5)分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析,、結(jié)構(gòu)分析,、頻率分析、功能分析等五大分析功能,；

(6)分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能,。

應(yīng)用領(lǐng)域

對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度,、粗糙度,、波紋度、面形輪廓,、表面缺陷,、磨損情況、腐蝕情況,、孔隙間隙,、臺階高度、彎曲變形情況,、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析,。

應(yīng)用范例：

除主要用于測量表面形貌或測量表面輪廓外，SuperViewW3D輪廓儀具有的測量晶圓翹曲度功能,，非常適合晶圓,，太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測量，應(yīng)變測量以及表面形貌測量,。結(jié)果組成：

1,、三維表面結(jié)構(gòu)：粗糙度，波紋度,，表面結(jié)構(gòu),，缺陷分析，晶粒分析等,；

2,、二維圖像分析：距離，半徑，斜坡,，格子圖,，輪廓線等；

3,、表界面測量：透明表面形貌,，薄膜厚度，透明薄膜下的表面,；

4,、薄膜和厚膜的臺階高度測量；

5,、劃痕形貌,，摩擦磨損深度、寬度和體積定量測量,；

6、微電子表面分析和MEMS表征,。

部分技術(shù)指標(biāo)

懇請注意：因市場發(fā)展和產(chǎn)品開發(fā)的需要,，本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會根據(jù)實際情況隨時更新或修改，恕不另行通知,，不便之處敬請諒解,。

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